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感应耦合气体放电及其静电场
感应耦合气体放电及其静电场
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gg499586617
【摘 要】
:
提出了长圆柱形感应耦合气体放电的电动力学模型.放电为磁场激励型,稳定的等离子体由电磁场所维持,空间电荷产生的静电场引起荷电粒子的双极扩散.
【作 者】
:
王超
熊熠明
李培芳
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
感应耦合
气体放电
静电场
磁场激励
双权扩散
荷电粒子
Gas discharge Electrostatic field
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提出了长圆柱形感应耦合气体放电的电动力学模型.放电为磁场激励型,稳定的等离子体由电磁场所维持,空间电荷产生的静电场引起荷电粒子的双极扩散.
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