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“半导体物理与器件”作为微电子技术专业的基础课程,具有知识点多、授课时间短等特点。在教学过程中精简内容,强调对基本概念、基本思想和基本理论方法的理解与掌握,引入Materials Studio和Silvaco TCAD模拟计算软件,引导学生探索不同半导体材料的性质和不同器件结构的性能,并用实验测量相关器件的电学特性,理论、模拟仿真和实验相结合,培养学生的学习兴趣、创新能力和探索精神,提高学生的科研能力与素质。