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2 俄歇电子能谱 1925年俄歇首次发现俄歇电子,并以他的名字命名。20世纪50年代有人首次用电子作激发源,进行表面分析,并从样品背散射电子能量分布中辨认出俄歇谱线。但是由于俄歇信号强度低,探测困难,因此在相当长时期未能得到实际应用。直至1967年采用电子能量微分技术,解决了把微弱的俄歇信号从很大的背景和噪声中检测出来,才使俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy,AES)成为一种实用的表面分析方法。1969年使用筒镜分析器(Cylindrial Mirror Analyse