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在modified ψ-衍射几何条件下,研究铍材表层中存在不同应力梯度时d~(sinψ)2曲线的形状,确定铍材表面层应力梯度对常规X-射线应力测试的影响.结果表明,在(sinψ)2≤0.5范围内,应力梯度对测量结果有明显影响,应力测试值因应力梯度存在而偏离真实值.使用钒靶材和大的倾角降低X-射线对铍材的穿透深度,可以减小由应力梯度引起的应力测试误差.