【摘 要】
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随着科技的发展,仪器仪表行业也在飞速的发展,在未来仪器仪表行业将向着微型化数字化、智能化,网络化的发展,这个发展对仪器仪表行业来说是一个很大的挑战。(1)微型化。MEMS
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随着科技的发展,仪器仪表行业也在飞速的发展,在未来仪器仪表行业将向着微型化数字化、智能化,网络化的发展,这个发展对仪器仪表行业来说是一个很大的挑战。(1)微型化。MEMS是80年代中末期发达国家重点发展的领域之一,被视为21世纪广泛应用
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