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对涂胶/显影设备中的关键装置——HP(Hot Plate)进行系统的分析,介绍了该装置的工艺作用、控制器原理和PID参数的调整设置过程。
谈涂胶/显影设备中的关键装置——HP
【摘 要】
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对涂胶/显影设备中的关键装置——HP(Hot Plate)进行系统的分析,介绍了该装置的工艺作用、控制器原理和PID参数的调整设置过程。
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备有限公司沈阳工业大学信息工程学院辽宁沈阳辽宁沈阳
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2008年10期
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