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在磁约束聚变装置中,对等离子体电子温度的测量一般采用电子回旋辐射法(ECE)、汤姆逊散射法以及软X射线能谱法。其中软X射线(1~20keV)能谱法是一种传统的方法,它比汤姆逊散射法的测量误差小,且有较好的时空分辨;与电子回旋辐射法(ECE)相比较,时空分辨能力相近,但可作绝对测量,并且受超热电子和逃逸电子的影响较ECE小。在软X射线能谱法的应用中,过去使用Si(Li)探测器来探测软X射线能谱,Si(Li)探测器体积大,能量分辨和量子效率低,并且需要使用液氮冷却,大体积的杜瓦(通常35L)使探测器体积庞大,