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主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面的优越性以及在微电子领域中的广泛应用.
颇具竞争力的SOI硅集成技术（续）
【摘 要】
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主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面的优越性以及在微电子领域中的广泛应用.
【机 构】
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荷叶新村39号
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2004年6期
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