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针对单晶金刚石加工难的问题,采用脉宽为250 fs的飞秒激光器,开展了不同工艺参数下的单晶金刚石晶体飞秒激光烧蚀试验研究,同时采用超景深显微镜检测单晶金刚石烧蚀的宽度、深度及表面质量,研究了激光平均功率、光斑重叠率和扫描次数对单晶金刚石烧蚀深度、宽度及表面质量的影响.结果表明,飞秒激光成型烧蚀加工单晶金刚石时,当采用激光平均功率为11.1W,光斑重叠率为61.9％,循环扫描次数为100次作为最佳工艺参数组合时,能够获得具有较高表面质量的最大烧蚀效率,通过激光分层成型烧蚀,在单晶金刚石片上加工出大小、突出高度和排布方式可以精确控制的锥形阵列,制造出无需结合剂的高品质端面金刚石砂轮.