【摘 要】
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本文研究了金刚石薄膜的形成机理及原子分子设计。提出了金刚石薄膜的形成机理是由许许多多具有金刚石结构的甲基相互作用和在基体表面上聚合,形成带氢的金刚石晶核,在高温和
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本文研究了金刚石薄膜的形成机理及原子分子设计。提出了金刚石薄膜的形成机理是由许许多多具有金刚石结构的甲基相互作用和在基体表面上聚合,形成带氢的金刚石晶核,在高温和高能粒子轰击下脱氢生长成金刚石薄膜。同时提出合成金刚石薄膜中生成的石墨转化为金刚石的机理,是石墨在氢原子作用下,使六边格子发生扭曲,石墨结构转变成金刚石结构,再与体系中生成的甲基反应,取代氢原子,进行多次取代和脱氢,石墨就转化成金刚石。
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