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主要介绍了在NaOH溶液中，利用电化学技术腐蚀制备多晶硅绒面的新方法。实验中，通过改变腐蚀液浓度、腐蚀电压、腐蚀温度等因素，制得一系列多晶硅绒面。实验结果表明，当腐蚀碱液浓度为20%，腐蚀电压为20V，腐蚀温度为25℃时，腐蚀得到的硅片表面比较均匀，在波长400~800nm范围内，测量得表面反射率最低为19%左右。