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在溶胶－凝胶基础上，采用碱／酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2薄膜，并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明：采用碱／酸两步催化法能够明显提高纳米多孔SiO2光学增透薄膜的力学特性，混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善。薄膜耐磨等力学性能增强归因于SiO2颗粒间更多的化学键合。在力学性能增强的同时，薄膜折射率仍保持约1．24的较低值，光学增透效果良好，透射率≥99．5％。