ⅡA类金属(钡、锶、钙)膜室温与ⅣB类金属(钛、锆、铪)块高温的吸气机理

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【摘要】

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本文首先介绍了吸附-扩散方程及其对钡膜、钛膜常温吸气动力学曲线的解释;随后介绍了钡膜吸气机理的 Mott 模型及其局限性。近年来,表面分析技术表明:对A 类金属薄膜室温吸气

【作者】

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陈丕瑾马丽平李昌全张振祥

【机构】

：

清华大学,北京电子管厂,北京真空电子器件研究所,北京真空电子器件研究所,

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1981年05期

【关键词】

：

金属薄膜物理吸附氧化膜厚度氧化钡氧原子吸气速率氧分子动力学曲线金属原子化学吸附

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本文首先介绍了吸附-扩散方程及其对钡膜、钛膜常温吸气动力学曲线的解释;随后介绍了钡膜吸气机理的 Mott 模型及其局限性。近年来,表面分析技术表明:对A 类金属薄膜室温吸气机理应用 Anderson 模型、ⅣB 类金属块高温吸气机理应用 Wagner 模型是比较正确的,本文主要阐述这二种模型。

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