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首先梳理了词频分析的一般过程并对现有词频分析工具总结归类。在此基础上,从软件基本信息、支持数据类型、数据预处理、数据分析与结果导出等方面对国内常用词频分析工具Bibexcel、Cite Space和SATI进行了比较分析。并以WOS数据库为数据源,对3个软件实际分析结果进行比较,以期为科研人员使用词频分析方法提供有益的帮助。