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对用于制作冷作模具的两种高速钢W18Cr4V和W6Mo5Cr4V2Al进行离子渗氮－PECVD TiN复合处理，研究了复合处理层的组织与性能特点。结果表明：较之单一PECVD TiN，离子渗氮－PECVD TiN复合处理改善膜基界面结合，显著提高膜基结合强度与耐磨性；采用优化的复合处理可提高高速钢制不锈钢六角螺栓切边模使用寿命一倍以上。