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采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿.
高精度扩散硅绝对压力计的研制
【摘 要】
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采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿.
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年6期
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