【摘 要】
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对硅基片超薄多层金属镜在CO2 激光辐照下的热特性进行了实验观测与理论分析。给出了超薄多层镜的结构设计方案 ,以及不同激光功率情况下镜面热变形与激光照射时间的关系曲线
【机 构】
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对硅基片超薄多层金属镜在CO2 激光辐照下的热特性进行了实验观测与理论分析。给出了超薄多层镜的结构设计方案 ,以及不同激光功率情况下镜面热变形与激光照射时间的关系曲线。结果表明 ,当反射镜吸收功率为 12 0W ,光照时间为 4s时 ,普通硅镜的热变形量为 0 71μm ;同等条件下硅基片超薄多层金属镜最大热变形量仅为 0 2 5 μm。理论计算与实验结果基本相符。
The thermal characteristics of silicon substrate ultrathin multilayer metal mirror under CO2 laser irradiation were experimentally observed and theoretically analyzed. The structural design of the ultrathin multilayer mirror and the relationship between the mirror thermal deformation and laser irradiation time under different laser powers are given. The results show that when the absorbed power of the mirror is 12 0W and the illumination time is 4s, the thermal deformation of the ordinary silicon mirror is 0 71μm. Under the same conditions, the maximum thermal deformation of the ultrathin multilayer mirror is only 0.255 μm. Theoretical calculation and experimental results are basically consistent.
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