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期刊论文
光栅线位移传感器的误差分析
光栅线位移传感器的误差分析
来源 :青岛大学学报:工程技术版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:silversandcgliu
【摘 要】
:
在光栅测量仪器中,光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素,主要产生在光栅的刻制、传感器结构及传感器的安装等方面。本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源,并给出
【作 者】
:
纪刚
叶军
【机 构】
:
青岛大学
【出 处】
:
青岛大学学报:工程技术版
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
光栅线
位移传感器
莫尔条纹
误差分析
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在光栅测量仪器中,光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素,主要产生在光栅的刻制、传感器结构及传感器的安装等方面。本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源,并给出了相应的消误差方法,为提高传感器设计精度提供了理论依据。
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