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应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性.
基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究
【摘 要】
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应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓
【机 构】
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南开大学信息技术科学学院微电子系,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2007年06期
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