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具有特殊结构的双栅ＭＯＳＦＥＴ是一种高速度、低功耗ＭＯＳＦＥＴ器件，符合未来集成电路发展的方向。文章介绍了多种双栅ＭＯＳＦＥＴ的结构、优点，以及近年来国内外对双栅ＭＯＳＦＥＴ的研究成果。
双栅MOSFET的研究与发展
【摘 要】
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具有特殊结构的双栅ＭＯＳＦＥＴ是一种高速度、低功耗ＭＯＳＦＥＴ器件，符合未来集成电路发展的方向。文章介绍了多种双栅ＭＯＳＦＥＴ的结构、优点，以及近年来国内外对双栅ＭＯＳＦＥＴ的研究成果。
【机 构】
：
东南大学微电子中心
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2000年5期
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