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以金属In和SnCl4·5H2O为主要原料,加入保护剂PVP,利用化学共沉淀法合成了球形的铟锡氧化物(ITO)纳米颗粒.分别对PVP的用量、溶液的pH值、热处理温度等因素对ITO纳米颗粒粒径的影响进行了分析.并且借助透射电镜(TEM)、X射线衍射(XRD)对所合成的ITO纳米颗粒进行了表征.XRD分析说明本文合成了金刚砂型结构的铟锡氧化物纳米颗粒,并且其晶型结构随着热处理温度的升高而转变为铁锰矿型.