【摘 要】
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随着芯片特征尺寸的减小 ,光刻成像技术的不断提高 ,而关键尺寸 (ＣＤｓ)的缩小则产生了更为精确的套刻精度。这些套刻精度在已随着工作台技术和对准系统的改进而得到了满足 ,但这
【机 构】
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Nikon Precision Inc.,Nikon Precision Inc.,Dominion Semiconductor,Dominion Semiconductor Hudson,Mass.
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随着芯片特征尺寸的减小 ,光刻成像技术的不断提高 ,而关键尺寸 (ＣＤｓ)的缩小则产生了更为精确的套刻精度。这些套刻精度在已随着工作台技术和对准系统的改进而得到了满足 ,但这些技术的发展还不能与不断提高的套刻精度保持同步 ,因此需要探索控制套刻和对准的新方法。有价值
As chip feature sizes decrease, photolithographic imaging techniques continue to increase, while shrinking critical dimensions (CDs) yields more accurate overlay accuracy. These nesting accuracies have been met as workbench technology and alignment systems improve, but advances in these technologies have not been able to keep pace with ever-increasing overlay accuracy, so new tools for controlling overlays and alignments need to be explored method. valuable
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