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细菌在电子行业高纯水系统运行中的影响与防治
细菌在电子行业高纯水系统运行中的影响与防治
来源 :河北省科学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:d7703679
【摘 要】
:
阐述了在电子工业高纯水制取过程中,细菌对制水每个工艺环节的影响与采取的相应措施,说明了控制细菌繁殖对提高水质和延长备件使用寿命的重要性。
【作 者】
:
姚光平
何谓
【机 构】
:
中国电子科技集团第十三研究所,河北省自动化研究所
【出 处】
:
河北省科学院学报
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
细菌
电子行业
高纯水系统
系统运行
电阻率
半导体工业
Electronic industry
High purified water
Bacteria
R
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阐述了在电子工业高纯水制取过程中,细菌对制水每个工艺环节的影响与采取的相应措施,说明了控制细菌繁殖对提高水质和延长备件使用寿命的重要性。
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