【摘 要】
：
针对基于光弹效应的集成光学微腔悬臂梁式加速度计难以同时实现高灵敏度和高抗冲击性的问题，提出增加光学微腔周长的方案。经过详细的理论分析得出：通过增加微腔周长可以有效地
【机 构】
：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
论文部分内容阅读
针对基于光弹效应的集成光学微腔悬臂梁式加速度计难以同时实现高灵敏度和高抗冲击性的问题，提出增加光学微腔周长的方案。经过详细的理论分析得出：通过增加微腔周长可以有效地增加惯性力下微腔谐振点波长偏移量，提高探测灵敏度。设计了多回路长直跑道型微腔结构，在100μm×600μm悬臂梁区域内集成出周长达5297μm的硅微谐振腔。利用MEMS工艺制作出所设计的微腔结构，测试品质因数达10。。该结构应用于加速度等传感器中，在不减小传感器抗冲击性和量程的前提下，能有效提高探测灵敏度。
其他文献
本文论述了"2+1"产学合作教育模式企业育人环境和育人主体下企业教师队伍建设的指导思想和基本原则以及建设方法,确定了企业教师的职责,保证了"1"阶段各教学环节的顺利进行,
目的观察重复经颅磁刺激(rTMS)对脑梗死患者运动功能恢复的影响。方法共选取60例脑梗死偏瘫的患者,随机分为低频刺激组,高频刺激组,对照组,每组20例。患者均接受脑梗死常规治
《全日制义务教育语文课程标准》指出,义务教育阶段,1至6年级学生背诵古今优秀诗文160篇（段）,7至9年级学生背诵80篇（段）,合计240篇（段）。由此可见,优秀古诗文教学在整个义务教育阶
山西商帮是明清时期重要的商人集团，其经营的商品以盐、茶规模最大，两者均为官府严格控制的专卖商品，均能获得垄断利润，因而有许多相似之处。同时，盐商与茶商在兴起的时代背景、经
目的确定抗生丸活血化瘀功效。方法对各组大鼠瘀血模型及正常大鼠血液流变学的12项指标进行了计算测定，并且对该模型的毛细血管通透性进行了比较。结果抗生丸能明显改善大鼠瘀
当今高层住宅使用聚丙烯PPR管作为供水管的情况越来越普遍，本文着重阐述聚丙烯PPR管的施工应用。
比尔·埃文斯作为有史以来最有影响力的爵士乐钢琴家之一,改变了爵士钢琴的演奏技法并在这一过程中影响了诸多优秀的爵士钢琴家,包括赫比·汉考、奇克·考瑞阿、凯斯·杰瑞等
经济的发展不仅给人们的生活带来了很多方便,还给环境带来了很大的压力,环境保护已经逐渐成为世界各地的重点关注问题,由此生态建筑理论有了很好的推进机会。然而生态建筑理
提出了一种CT去金属伪影的自适应衰减滤波混合算法。它先对金属区域投影数据进行自适应衰减和滤波,通过滤波反投影（FBP）重建图像，再利用原始投影数据对金属区域进行最大期望值（EM
信息服务新模式＂自助图书馆＂经过多年的发展,越来越受到学界和社会的关注。对国内自助图书馆的研究现状、布点选择、文献资源建设、服务系统等方面进行了归纳与探究,对存在的问