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以作者多年的工作体会为基础熏结合几种照明曝光系统的情况熏介绍了提高光刻机的照明均匀性和单位面积能量的一些具体措施。并以光学均匀器为例熏做出一种可实用的照明曝光系统。
一种可实用的照明曝光系统
【摘 要】
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以作者多年的工作体会为基础熏结合几种照明曝光系统的情况熏介绍了提高光刻机的照明均匀性和单位面积能量的一些具体措施。并以光学均匀器为例熏做出一种可实用的照明曝光系
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年02期
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