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本文综述了半导体／金属膜中分形形成的若干机制。在二元共晶系中分形由金属诱导非晶态半导体晶化和二组元横向互扩散引起。在有中间相的二元系中存在界面反应过程和金属诱导晶化过程之间的竞争。
半导体／金属膜中分形形成的机制
【摘 要】
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本文综述了半导体／金属膜中分形形成的若干机制。在二元共晶系中分形由金属诱导非晶态半导体晶化和二组元横向互扩散引起。在有中间相的二元系中存在界面反应过程和金属诱导晶
【机 构】
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中国科技大学结构分析开放实验室和基础物理中心,中国科学院固体物理研究所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1996年2期
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