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厚度与带隙可调、原子层沉积的超薄五氧化二钒纳米晶薄膜
厚度与带隙可调、原子层沉积的超薄五氧化二钒纳米晶薄膜
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhui130
【摘 要】
:
利用原子层沉积方法制备V2O5纳米片晶薄膜.薄膜厚度可以被精确控制,并对纳米晶V2O5薄膜的结构形貌、光学带隙和拉曼振动有显著影响.原子层沉积过程中V2O5薄膜生长的两个阶段
【作 者】
:
张天宁
王书霞
黄田田
魏威
陈鑫
戴宁
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院大学
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
2019年1期
【关键词】
:
原子层沉积
五氧化二钒
薄膜
atomic layer depositionvanadium pentoxidethin films
【基金项目】
:
the National Key R&D Program of China(2016YFA0202200),Youth Innovation Promotion Association,CAS.
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利用原子层沉积方法制备V2O5纳米片晶薄膜.薄膜厚度可以被精确控制,并对纳米晶V2O5薄膜的结构形貌、光学带隙和拉曼振动有显著影响.原子层沉积过程中V2O5薄膜生长的两个阶段导致薄膜具有两个光学带隙,这将有助于理解超薄薄膜生长与功能应用.
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