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三氯氢硅合成启炉方式的优化改造
三氯氢硅合成启炉方式的优化改造
来源 :山东化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lv0550159
【摘 要】
:
介绍了传统三氯氢硅合成启炉的不足,通过对现有启炉方式的改造实现了三氯氢硅合成炉的快速启动,降低了企业的生产成本。
【作 者】
:
刘兴平
陈旺
【机 构】
:
新特能源股份有限公司
【出 处】
:
山东化工
【发表日期】
:
2014年05期
【关键词】
:
三氯氢硅合成
启炉
模拟优化
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介绍了传统三氯氢硅合成启炉的不足,通过对现有启炉方式的改造实现了三氯氢硅合成炉的快速启动,降低了企业的生产成本。
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