氧化液pH值对低温沉积Ni-Zn铁氧体薄膜的结构和磁性能的影响

来源 :磁性材料及器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzm8020117
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用FeCl2+NiCl2+ZnCl2组成的还原液和CH3COONH4+NH3H2O+NaNO2组成的氧化液不断地向转盘上的玻璃基片喷镀,在90℃下反应制备了厚度1-2μm的Ni-Zn铁氧体薄膜。X射线衍射(XRD)显示制备的薄膜具有尖晶石结构铁氧体的特征衍射峰。当氧化液的pH值从8.0增大到8.8时,薄膜的沉积速率和表面粗糙度都相应提高。氧化液pH值等于8.8时薄膜组成为Ni^2+0.43Zn^2+0.09Fe^2+0.48Fe^3+2O4。制备的薄膜显示了210.3kA/m的高饱和磁化强度和1.218k
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