【摘 要】
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分析了溅射产额的影响因素 ,并建立了产额模型。该模型能反映各种宏观工艺参数 ,便于工程应用。对钛靶的计算结果表明与实验结果相符。
The influencing factors of sputter
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,华中科技大学电子科学与技术系,华中科技大学电子科学与技术系,广西工学院计算机与电气工程系 武汉430074,武汉430074,武汉430074,柳州545005
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分析了溅射产额的影响因素 ,并建立了产额模型。该模型能反映各种宏观工艺参数 ,便于工程应用。对钛靶的计算结果表明与实验结果相符。
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