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自动直径控制(ADC)是直拉法单晶制造中的重要环节.本文详细介绍了直拉单晶的直径检测技术,分析其性能差异,对目前单晶炉设备的设计制造有参考作用.
直拉法单晶制造中的直径检测技术
【摘 要】
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自动直径控制(ADC)是直拉法单晶制造中的重要环节.本文详细介绍了直拉单晶的直径检测技术,分析其性能差异,对目前单晶炉设备的设计制造有参考作用.
【机 构】
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浙江大学浙大海纳半导体分公司
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年3期
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