【摘 要】
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德国Zimmermann&Schilp Handhabungstechnik GmbH开发出了半导体生产工序中能以非接触方式搬运最大300mm晶圆的机器人用工具(手)“Non-contact Wafer Gripper”。具体地,就是利用
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德国Zimmermann&Schilp Handhabungstechnik GmbH开发出了半导体生产工序中能以非接触方式搬运最大300mm晶圆的机器人用工具(手)“Non-contact Wafer Gripper”。具体地,就是利用超声波在工具表面形成一层空气薄膜,使晶圆漂浮于其上。
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