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用醋酸钇溶解于甲氧基乙醇的溶胶-凝胶法制备了Y2O3光波导薄膜. 通过二乙烯三胺的络合作用, 获得了均匀和稳定的前驱液, 并用浸渍提拉法得到了薄膜. 差热分析、红外吸收光谱被用来表征Y2O3凝胶和粉末. 用XRD、扫描电子显微镜、 m 线法和波导荧光光谱法研究了Y2O3光波导薄膜的结构和光波导性质. 结果表明, Y2 O3薄膜对于光活性掺杂是一种很好的基质材料, 预示Y2O3薄膜在光电子方面具有巨大的应用前景.