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阐述了近几年来国内外关于电子陶瓷材料的集成研究状况及发展趋势,指出了电子陶瓷薄膜材料的产品在诸多领域的重要应用.对电子陶瓷材料与微电子器件的集成,以及电子陶瓷在微传感器和MEMS中的应用情况作了重点介绍.
电子陶瓷薄膜材料的集成及应用
【摘 要】
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阐述了近几年来国内外关于电子陶瓷材料的集成研究状况及发展趋势,指出了电子陶瓷薄膜材料的产品在诸多领域的重要应用.对电子陶瓷材料与微电子器件的集成,以及电子陶瓷在微
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2004年3期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金
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