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本文研究了ＰＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜的光学特性，得到的Ｓｉ３Ｎ４薄膜具有光致发光效应，在２８０℃沉积制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜的光致发光波长为４００ｎｍ，具有较好的单色性，测试分析了Ｓｉ３Ｎ４薄膜对可见光，红外光具有较高的透射性能，Ｓｉ３Ｎ４薄膜可作为红外光的增透减反射膜。
ECR—PECVD制备Si3N4薄膜的光学特性研究
【摘 要】
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本文研究了ＰＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜的光学特性，得到的Ｓｉ３Ｎ４薄膜具有光致发光效应，在２８０℃沉积制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜的光致发光波长为４００ｎｍ，具有较好的单色性，测试分析了Ｓｉ３Ｎ４薄膜对可见光，红外光具有较高的透射性能，Ｓｉ３Ｎ４薄膜可作
【机 构】
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华南师范大学量子电子研究所,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1997年9期
【基金项目】
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广东省博士后基金
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