【摘 要】
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以均苯四甲酸二酐（PMDA）和4,4’-二氨基二苯醚（ODA）为原料,分别采用机械搅拌法与高速砂磨法制备了一系列不同氮化铝（AlN）掺杂量的氮化铝/聚酰亚胺复合薄膜（AlN/PI）。测试了复合薄膜的
【机 构】
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哈尔滨理工大学材料科学与工程学院,哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨理工大学工程电介质及其应用技术省部共建教育部重点实验室
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以均苯四甲酸二酐（PMDA）和4,4’-二氨基二苯醚（ODA）为原料,分别采用机械搅拌法与高速砂磨法制备了一系列不同氮化铝（AlN）掺杂量的氮化铝/聚酰亚胺复合薄膜（AlN/PI）。测试了复合薄膜的力学性能、热稳定性及电性能,并采用扫描电镜（SEM）观察了薄膜的断面形貌,系统分析了无机含量以及两种制备方式对复合薄膜各项性能的影响。结果表明：与机械搅拌法制备的薄膜相比,砂磨法制备的薄膜中AlN的粒径更小,分散更均一,且在热分解温度、击穿强度以及拉伸强度上都有所提高。
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