【摘 要】
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铅酸钡（BaPbO3）导电薄膜是目前最有潜力的锆钛酸铅（lead zirconate titanate,PZT）铁电器件底电极替代材料之一.用溶胶-凝胶法在氧化铝（Al2O3）基片上旋涂成型BaPbO3薄膜.由于氧化铅（P
【机 构】
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华南理工大学材料学院特种功能材料教育部重点实验室,信息产业部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室
【基金项目】
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广东省自然科学基金（033177）资助项目.
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铅酸钡（BaPbO3）导电薄膜是目前最有潜力的锆钛酸铅（lead zirconate titanate,PZT）铁电器件底电极替代材料之一.用溶胶-凝胶法在氧化铝（Al2O3）基片上旋涂成型BaPbO3薄膜.由于氧化铅（PbO）的高温挥发性,因此有必要研究薄膜中的铅/钡摩尔比与薄膜电阻率之间的关系.实验比较了常规热处理（conventional thermal annealing,CTA）和快速热处理（rapid thermal annealing,RTA）方式,用X射线衍射和能量散射X射线能谱研究了热处
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