掺杂、扩散、离子注入工艺

来源 :电子科技文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户：orc2008

【摘要】

：

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【出处】

：

电子科技文摘

【发表日期】

：

1999年11期

【关键词】

：

离子注入第一原理 Griffin implanted 活性化 predictive 动力学施主杂质半导体光电力学建模

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