【摘 要】
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该文研究设计一种新型ISFET／REFET／PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片，探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【基金项目】
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国家自然科学基金(90307014，60672019)资助课题
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该文研究设计一种新型ISFET／REFET／PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片，探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺，着重研究电聚合法制备的H^＋敏感PPy膜；与采用低温Ta2O5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较。集成芯片具有灵敏度54mV／pH，响应时间0．1s，在pH1～12范围内线性相关系数99．99％的优良性能。
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