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ＥＰＭ－８１０Ｑ电子探针图像系统其扫描成像基本原理是：扫描发生器产生的锯齿波分别加到置于物镜孔中的Ｘ、Ｙ扫描线圈和显像管的Ｘ、Ｙ偏转线圈上，实现电子束在样品表面和显像管荧光屏上的同步扫描。通过扫描偏转动作，电子束能依次到达样品表面，依次得到表面各位置...
EPM—810Q电子探针图像系统故障维修
【摘 要】
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ＥＰＭ－８１０Ｑ电子探针图像系统其扫描成像基本原理是：扫描发生器产生的锯齿波分别加到置于物镜孔中的Ｘ、Ｙ扫描线圈和显像管的Ｘ、Ｙ偏转线圈上，实现电子束在样品表面和显像管荧光屏上的同步扫描。
【机 构】
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福建省测试技术研究所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1998年5期
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