十年话沧桑──铝-氮/铝选择性吸收涂层溅射镀膜机的诞生与发展

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十年话沧桑铝氮/铝选择性吸收涂层溅射镀膜机的诞生与发展郑世民薛祖庆李云松殷志强一从技术成果到社会生产力1985年初,第三代全玻璃真空太阳集热管的核心技术———渐变铝氮铝选择性吸收涂层取得实验成果,进入生产实施阶段.作为12m长真空集热管的选择性... Ten years if the vicissitudes of aluminum - nitrogen / aluminum selective absorption coating sputtering coating machine birth and development Zheng Shimin Xue Zuqing Li Yunsong Yin Zhiqiang from technological achievements to social productivity In early 1985, the third generation of all-glass vacuum solar collector tube core technology - - Gradient aluminum  nitride aluminum selective absorption coating obtained experimental results, entered the production stage. As a  2m long vacuum tube collector selectivity ...
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