【摘 要】
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LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺会产生大量废气,其主要成分为NH3,H2,N2和少量金属有机化合物(MO源),必须进行无害化处理,工业上常用的方法有燃烧法、
【机 构】
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北京赛科康仑环保科技有限公司,中国科学院过程工程研究所环境技术与工程研究部绿色过程与工程重点实验室北京市过程污染控制工程技术研究中心
【基金项目】
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国家重点研发计划资助(2017YFB0403300)
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LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺会产生大量废气,其主要成分为NH3,H2,N2和少量金属有机化合物(MO源),必须进行无害化处理,工业上常用的方法有燃烧法、水吸收法和化学法等。由赛科康仑公司设计开发的新型LED废气资源化装置以精馏蒸氨为原理,通过参数设计、设备集成优化,一步实现废气水淋洗液被浓缩得到浓度为20%的高纯浓氨水,可进一步制成氨气或液氨返回生产工艺,氨回收率大于99%,具有占地面积小、操作弹性大、资源化效率高的特点。
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