【摘 要】
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自1987年首台静电微电机诞生以来,微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展.对静电微电机的可靠性研究现状进行综述,介绍静电微
【基金项目】
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国家杰出青年基金项目资助 (1 0 32 52 0 9)~~
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自1987年首台静电微电机诞生以来,微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展.对静电微电机的可靠性研究现状进行综述,介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理,以及摩擦、磨损、粘附等特性对微电机运行稳定性的影响,从不同角度探讨减少微电机失效的问题,介绍各种测试方法、检测仪器、润滑抗粘附材料和解决方案,并对相关领域的工作进展进行总结和展望.
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