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综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点讨论了掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点，指出了需要进一步从材料选择、制备工艺的研究、多层膜光学设计等方面提高透明导电薄膜的综合性能，以满足尖端技术的需要。
AZO导电薄膜的研究进展及应用
【摘 要】
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综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点讨论了掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点，指出了需要进一步从材料选择、制备工
【机 构】
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秦皇岛玻璃工业研究设计院
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2007年2期
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