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在多晶薄膜晶粒-晶界两相结构模型的基础上,考虑载流子对晶粒间界势垒区的隧穿机制,在10℃~100℃的温度范围内,模拟了Sol-gel多晶二氧化钒薄膜电阻率随温度的变化,模拟结果与实验结果有较好的吻合.模拟结果显示,二氧化钒多晶薄膜的晶界效应限制了薄膜相变时电阻率的变化,并使薄膜在金属相时呈现负的温度系数.