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室温下用２．８ＭｅＶ扬言氦离子注入在掺铌酸锶钡晶体上形成了平面光波导。用棱镜耦合法观察到了波导的暗模。计算的折射率分布表明在离子注入产生的损伤层中晶体的折射率减小，其中正常折射率减小约３．４２％，反常折射率减小为２．５５％。由ＰＩＰＲ方法拟合的波导中的折射率分布与ＴＲＩＭ‘９６给出的注入离子的密度分布基本一致。