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在人工合成金刚石技术日益成熟的背景下,纳米级的金刚石颗粒因其优越的性能,在工业、医学、半导体等领域得到了广泛应用。金刚石薄膜是一种常见的人工合成材料,既保留了金刚石的硬度,同时还具有良好的导热性、化学稳定性、光学透明性,在半导体材料、航空航天工业、大规模集成电路等方面应用前景广阔。本文以纳米金刚石薄膜的电子特性作为切入点,着重分析了不同晶粒尺寸下,分别加入了Si、P和B元素后薄膜的电子特性,为纳米金刚石薄膜的研发和应用提供了一定的参考。