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本文详细地介绍了热式气体流量传感器的工作原理,同时概括了其发展和应用情况。最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论。
热式气体质量流量传感器研究与发展
【摘 要】
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本文详细地介绍了热式气体流量传感器的工作原理,同时概括了其发展和应用情况。最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论。
【机 构】
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沈阳工业大学信息科学与工程学院教授,微电子与固体电子学专业硕士研究生
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2005年10期
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