电子级氢氟酸的纯化技术及其配套技术

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随着半导体芯片和液晶显示器(LCD)制造业向我国转移,以及国内电子级氢氟酸需求量的日益增长,精细氟化工已成为我国氟化工业发展的必然趋势。阐述了电子级氢氟酸的应用领域、质量标准、纯化技术,以及生产电子级氢氟酸的配套技术,认为我国在提高电子级氢氟酸生产工艺水平的同时,应加强其配套技术的研发。
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