高压超快GaAs光电导开关的耐压设计与绝缘保护

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通过对Au/Ge/Ni电极结构的最佳化设计,采用Si3N4硅凝胶钝化/保护技术,首次研制出一种全固态的GaAs横向高压光电导开关。器件具有理想的暗态伏安特性,绝缘强度达35kV/cm。
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